この装置は、
オートレース補助事業
により購入した機器です。

　電界放出型走査電子顕微鏡システム
　


写真：走査型電子顕微鏡（左）外観　　（右）本体
１．機器の概要
本機器は、真空中で細く絞った電子線を走査しながら試料に照射し、試料表面から発生する信号（二次電子・反射電子等）を検出することでモニタ上に試料表面の拡大像を表示し、数万倍から十数万倍（ナノメーターレベル）の高倍率観察や、エネルギー分散型X線検出器（EDS）による元素分析を行うことができます。 又、最低0.1kVからの低加速電圧（通常は5~20kV）での高分解能観察が可能であることから、熱に弱い試料の損傷を減らすことや、非導電性試料をそのまま観察することも可能です。
紹介ポスター （PDF:１MB）
２．機器の仕様
日本電子株式会社　JSM-7610FPlus
加速電圧0.1kV~30kV
照射電流数pA（ピコアンペア）~200nA（ナノアンペア）
倍率25倍～1,000,000（100万）倍
二次電子分解能0.8nm（加速電圧15kV）、1.0nm（加速電圧1kV）
試料移動（範囲）X:70mm、Y:50mm、Z:1.0～40mm
（傾斜）-5～70°
（回転）360°エンドレス
到達圧力（電子銃室）10(-7)Paオーダー
（試料室）10(-4)Paオーダー
エネルギー分解能129eV
検出元素Be～U
３．お問合せ先
工業技術研究所浜松工業技術支援センター 材料科　／　電話：053-428-4156