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この装置は、 オートレース補助事業 により購入した機器です。 |
加速電圧 | 0.1kV~30kV |
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照射電流 | 数pA(ピコアンペア)~200nA(ナノアンペア) |
倍率 | 25倍~1,000,000(100万)倍 |
二次電子分解能 | 0.8nm(加速電圧15kV)、1.0nm(加速電圧1kV) |
試料移動 | (範囲)X:70mm、Y:50mm、Z:1.0~40mm (傾斜)-5~70° (回転)360°エンドレス |
到達圧力 | (電子銃室)10(-7)Paオーダー (試料室)10(-4)Paオーダー |
エネルギー分解能 | 129eV |
検出元素 | Be~U |