設置場所 本所（054-278-3028）
担当部署 機械電子科
メーカー名 テーラーホブソン
型番等 フォームタリサーフPGI840
対応条例 触針式表面粗さ形状測定機
使用料（時間あたり） 2,960 円
主な仕様 JIS B0601-2001（ISO4287-1997）準拠
Z軸測定範囲：8mm（分解能0.8nm）
トラバース長：120mm（最小0.125umピッチ）
非球面形状解析対応
スタイラス：ダイヤモンド2μm（90度、60度角錐）、ボール（60mm、150mmスタイラスアーム）
装置写真 触針式表面粗さ形状測定機【08-006350】