設置場所 本所（054-278-3028）
担当部署 照明音響科
メーカー名 アメテック株式会社
型番等 タリサーフ CCI HD XL
対応条例 表面性状非接触測定機
使用料（時間あたり） 15,960 円
主な仕様 干渉光を利用して表面の微細な凹凸を三次元で測定する装置です。ISO規格で定められている三次元の「粗さ」を評価することができます。
［主な仕様・機能］
測定範囲：150×150mm（水平方向）100mm（垂直方向）
分解能：最大0.0823μm（水平方向）最大0.01nm（垂直方向）
対応規格：ISO 25178
装置写真 非接触表面性状測定機【15-001460】